Laboratoria badawcze Instytutu Mikroelektroniki i Optoelektroniki

Spis artykułów

  1. Ogólna charakterystyka
  2. Laboratorium Projektowania i Zastosowań Mikroelektronicznych Systemów Scalonych
  3. Laboratorium Przyrządów Mikroelektronki i Nanoelektroniki

Laboratorium Przyrządów Mikroelektronki i Nanoelektroniki

Laboratorium Przyrządów Mikroelektronki i Nanoelektroniki prowadzi prace badawcze w dziedzinie zaawansowanych technologii przyrządów półprzewodnikowych. Jego rozbudowa pozwoli na uruchomienie i opanowanie dotychczas niedostępnych w clean-roomie IMiO technologii suchego trawienia w plazmie chlorowej oraz wytwarzania ultracienkich warstw metalicznych i kompozytowych. Pozwoli to na znaczne poszerzenie tematyki badawczej realizowanej w laboratorium, w tym także w zakresie niestandardowych technologii struktur kwantowych, fotoniki krzemowej i struktur MEMS/MOEMS. Modernizacja pozwoli również na prowadzanie kompleksowej diagnostyki posługującej się pomiarami i analizą charakterystyk elektrycznych specjalnie do tego celu zaprojektowanych struktur testowych oraz właściwości optycznych zarówno samych warstw, jak też struktur i przyrządów mikro- i nanoelektronicznych, w tym przyrządów kwantowych oraz systemów MEMS i MOEMS. Podstawowe związki badane tymi metodami to zależności: prądnapięcie, impedancja-napięcie oraz grupa pomiarów metodą pompowania ładunku.

.

Kontakt
dr inż. Robert Mroczyński   
R.Mroczynski@elka.pw.edu.pl 
22 234 60 65

 

.